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【培訓上課場地】-VLSI設計教學實驗室
圖2-1 圖2-2
圖2-3 圖2-4
圖2-5 圖2-6
圖2-7
培訓設備場地
【培訓上課場地】-教室與會議廳
國際會議廳1 國際會議廳2
階梯教室1 階梯教室2
階梯教室1 階梯教室2
【培訓上課場地】-VLSI設計教學實驗室
VLSI設計教學實驗室1 VLSI設計教學實驗室2
VLSI設計教學實驗室3
【培訓上課場地】-SoC設計教學實驗室
VLSI設計教學實驗室3
【培訓上課場地】-SoC設計教學實驗室
SoC設計教學實驗室1 SoC設計教學實驗室2
【培訓上課場地】-交通大學半導體教學實驗室
【培訓上課場地】-交通大學半導體教學實驗室
圖2-1 圖2-2
圖2-3 圖2-4
圖2-5 圖2-6
圖2-7
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圖2-1 高溫氧化擴散爐系統-於晶片上成長氧化膜 (乾氧、濕氧化)及擴散參雜物(燐或硼)。
圖2-2 PE-CVD用途:使用TEOS ,快速成長Passivation Layer
圖2-3 半導體教學實驗室-無塵室
圖2-4 電子鎗蒸鍍系統-蒸鍍製作電極及配導線Al、Au、Pb、Ti、Ni等金屬。
圖2-5 低壓化學氣相沉積系統-可成長Si3N4：用在 Passivation；成長Poly：用在 Si-gate圖2-6 濺鍍系統-鋁鍍膜製作 圖2-7光罩對準儀-晶片上之感光層接受曝光(透過光罩)，轉照形成各種電路圖形。 |
【培訓上課場地】-交通大學元件電路計測教學實驗室
圖3-1 圖3-2
圖3-3 圖3-4
圖3-5 圖3-6
圖3-7
圖3-7
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圖3-1 KEITHLEY自動量測系統－電流-電壓, 電容-電壓元件參數自動切換儀器量測
圖3-2 HP自動量測系統－電流-電壓,電容-電壓元件參數自動切換儀器量測
圖3-3 元件電路計測教學實驗室-上課實況
圖3-4 電性量測探針機台系統[CASCADE 11000型號]－超低漏電流探針量測系統
圖3-5 低電流探針工作站－毫伏特低電壓探針量測系統
圖3-6 低溫自動量測系統－超低溫(4K)高介電材質介面量測系統探針量測系統
圖3-7 低溫電性量測探針機台系統 - 超低漏電流探針量測系統 |
【培訓上課場地】-工研院電子所先進構裝技術中心設備Wafer Level Packaging Process Equipment
ERSO/ITRI Intellectual Property
最後修改者 :
林明霓 2018-09-18 15:58:37
