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| 課程編號 | S109003 |
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| 課程分類 | IC製造與設備 |
| 課程名稱(中) | 先進奈米級電晶體技術（含UTB、FinFET與奈米線元件） |
| 授課教師 | 林鴻志 |
| 課程程度 | 進階 |
| 先修科目或先備能力 | 半導體元件物理 |
| 課程大綱 | 1. Planer CMOS: Scaling Trends and Challenges
2. Advanced Logic Device Technology - Ultra-thin body devices - Double-gated and tri-gated device - Gate-all-around structure |
| 課程目的 | 協助學員瞭解傳統平面CMOS元件發展的瓶頸與解決方案，3D半導體元件結構發展趨勢，3D半導體元件技術在邏輯與記憶體晶片之發展現況，與新式節能元件之原理與發展。
目前主流的平面CMOS元件結構預測在幾年內就將難以再微縮下去，屆時將會引用新式立體3D的結構(如FinFET)來延續邏輯電路的製作。另一方面，記憶體晶片早以使用立體3D的電晶體結構來進行奈米技術的量產。當代生產 線與研發工程人員須對這些有別於傳統的各種新式結構特徵及其優缺點，以及相關的製程加工技術須有正確的認知，才能面對與應付將來新一代技術的挑戰與開發。 |
| 開課日期 | 2020-08-18 |
| 結束日期 | 2020-08-26 |
| 出席時數 | 12小時，8/18、8/19、8/24、8/26 共二週、四堂課 |
| 上課時段 | PM18:30~21:30 |
| 課程總時數 | 12 |
| 上課地點 | 交大光復校區工程四館301教室 |
| 實作地點 | |
| 下載報名表 | 先進奈米級電晶體技術（含UTB、FinFET與奈米線元件） 若無法線上報名, 請下載報名表寄至nctuee@nctu.edu.tw |
| 學費 |
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| 線上報名開始時間 | 2020-06-24 |
| 線上報名結束時間 | 2020-08-16 |
| 線上報名人數限制 | 不限制 |
| 建立者 | 江婉榕 |
| 最後修改時間 | 2020-08-14 16:57:30 |
