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課程管理

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課程資料
課程編號S99205
課程分類IC製造與設備
課程名稱(中)「停班」電漿製程基本原理與相關天線效應解析
授課教師林鴻志
課程程度
先修科目或先備能力
課程大綱
1.Plasma Fundamentals
2.Reactor Technology
3.Gate Oxide Degradation Mechanisms
4.Antenna Effects

建議先備知識:半導體製程技術
課程目的協助學員瞭解電漿製程技術的基本原理與應用,各類型電漿反應腔之特色與設計重點,以及製程相關電漿效應的起因、偵測與分析技術、及解決之道。
開課日期2010-05-02
結束日期2010-05-02
出席時數每週一、三
上課時段18:30~21:30
課程總時數12小時
上課地點交通大學工程四館教室
實作地點
下載報名表 S99205簡章 MS Word
若無法線上報名, 請下載報名表寄至nctuee@nctu.edu.tw
學費
  1. 學費
    .5,000元 備註:一般價
    .4,500元 備註:特約廠商、3人以上團報
線上報名開始時間2010-01-29
線上報名結束時間2010-05-02
線上報名人數限制不限制
建立者
最後修改時間2010-05-03 16:44:47
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